Các dịch vụ phụ trợ Cung cấp nước khử ion (DI water) với thông số ~18 MΩ. Bảo trì hệ thống phòng sạch

Đo độ dày của từng lớp màng trong cấu trúc với nhiều phương pháp Xác định độ truyền qua, độ phản xạ, độ hấp thụ trong vùng hồng ngoại gần,…