Với diện tích 600m2, phòng thí nghiệm Công nghệ bán dẫn được chia làm 4 khu vực chính: khu vực thao tác hóa chất, khu vực quang khắc, khu vực chế tạo, khu vực phân tích. Tất cả các khu vực đều đạt tiêu chuẩn class 10.000, riêng khu vực quang khắc đạt tiêu chuẩn class 100.

Phòng thí nghiệm được trang bị các thiết bị chủ yếu phục vụ cho định hướng nghiên cứu chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng các loại linh kiện này cho sự phát triển đô thị thông minh của TPHCM. Các lĩnh vực đã và đang nghiên cứu của phòng thí nghiệm bán dẫn gồm có: các loại cảm biến áp suất, cảm biến pH, cảm biến đo độ biến dạng, cảm biến nhiệt độ và nhiều loại khác.

• Cung cấp nước khử ion (DI water) với thông số ~18 MΩ.
• Bảo trì hệ thống phòng sạch
• Gia công chế tạo linh kiện Vi mạch bán dẫn / Cảm biến MEMS
• Đo đạc, đánh giá hoạt động của linh kiện
• Thiết kế mạch xử lý tín hiệu...
• ...