Phòng thí nghiệm công nghệ bán dẫn.

Phòng thí nghiệm công nghệ bán dẫn được xây dựng với trung tâm là phòng sạch có diện tích đạt 600m²  trong đó gồm 60_­m² là class 100 và 540m² là class 10.000. Thiết bị trong phòng sạch đã đáp ứng được đầy đủ các quy trình chế tạo bất kỳ một loại linh kiện vi mạch bán dẫn hay một loại cảm biến MEMS nào với bề rộng mỗi đường khắc nhỏ nhất đạt 1micron (1000nm).

Phòng Thí nghiệm công nghệ bán dẫn được trang bị đầy đủ các trang thiết bị và được chia làm 4 nhóm thiết bị, đảm bảo cho việc chế tạo một linh kiện Vi mạch bán dẫn/ Cảm biến MEMS từ đầu đến cuối.

·        Thiết bị thiết kế - Mô phỏng tính chất linh kiện.

·        Thiết bị Chế tạo.

·        Thiết bị đo lường và kiểm tra.

·        Thiết bị đóng gói.