Phòng công nghệ bán dẫn

Phòng thí nghiệm Vi mạch – Bán dẫn được thành lập theo Quyết định số 20/QĐ-KCNC ngày 09 tháng 02 năm 2010 của Ban Quản lý Khu Công Nghệ Cao.

Cơ sở vật chất chính của phòng thí nghiệm Vi mạch – bán dẫn bao gồm: Phòng sạch với diện tích 600 m2, được chia làm 4 khu vực chính: khu vực thao tác hóa chất, khu vực quang khắc, khu vực chế tạo và khu vực phân tích. Tất cả các khu vực đều đạt tiêu chuẩn class 10.000, riêng khu vực quang khắc đạt tiêu chuẩn class 100, đồng thời các thông số nhiệt độ, độ ẩm, độ sạch được kiểm soát, kiểm tra và lưu trữ định kỳ.

Phòng thí nghiệm được trang bị các thiết bị chủ yếu phục vụ cho định hướng: nghiên cứu về LED, các linh kiện MEMS và linh kiện điện tử công suất. Phòng còn được trang bị thiết bị MOCVD được trang bị chuyên dụng cho chế tạo các linh kiện LED; thiết bị PECVD có chức năng phủ màng bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học có tăng cường plasma; thiết bị bốc bay dùng để phù màng kim loại lên bề mặt vật liệu;  Hệ thống khắc ion sâu (DRIE) với công dụng khắc bất đẳng hướng vật liệu Silicon và Silicon Nitride; Các thiết bị phân tích như: nhiễu xạ tia X, kiểm tra độ dày màng, kiểm tra tính chất quang và điện của vật liệu được đầu tư để đảm bảo tính đồng bộ theo nhu cầu thực hiện đề tài, dự án trong cùng lĩnh vực

 Ban dan

 

Các lĩnh vực đã và đang nghiên cứu của Phòng thí nghiệm Bán dẫn gồm có:

  1. Thiết kế, chế tạo cảm biến áp suất hướng tới ứng dụng máy đo áp huyết áp, cột đo nhiên liệu,…
  2. Thiết kế, chế tạo máy đo huyết áp cầm tay ứng dụng cảm biến áp suất.
  3. Thiết kế, chế tạo máy bộ nhiên liệu ứng dụng cảm biến áp suất.
  4. Nghiên cứu chế tạo cảm biến sinh học QCM, hướng tới ứng dụng kiểm tra nồng độ vi khuẩn trong nước và dư lượng kháng sinh trong thủy sản
  5. Nghiên cứu chế tạo cảm biến điện hóa hướng tới ứng dụng chế tạo kit kiểm tra dư lượng kháng sinh e trong thủy hải sản
  6. Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng, chế tạo chip cảm biến gia tốc và bộ kit đo độ rung, hướng tới ứng dụng trong hệ thống mạng cảm biến không dây.
  7. Nghiên cứu thiết kế và chế tạo linh kiện power mosfet hướng đến ứng dụng trong điện tử dân dụng.
  8. Nghiên cứu phát triển công nghệ chế tạo pin ion lithium màng mỏng trạng thái rắn ứng dụng trong các vi hệ thống điện tử công suất thấp.